半導體環(huán)境露點儀是半導體制造中不可少的濕度監(jiān)測設(shè)備，其核心功能是通過精準測量氣體或環(huán)境中的露點溫度（即水汽達到飽和凝結(jié)的溫度），確保生產(chǎn)環(huán)境與工藝氣體的干燥度符合嚴苛標準。多采用冷鏡式或電容式傳感器技術(shù)。冷鏡式通過半導體熱電堆制冷鏡面，當水汽在鏡面凝結(jié)時，利用光反射變化觸發(fā)信號，精確測定露點溫度，精度可達±0.1℃。
第一步：使用前準備
檢查安裝環(huán)境：
確認安裝位置符合要求：避免陽光直射、劇烈振動、電磁干擾和極d溫度。
確保安裝在工藝氣體管道或潔凈室氣流的代表性位置，遠離閥門、彎頭等可能產(chǎn)生渦流或死區(qū)的地方。
檢查管路連接：
使用潔凈、干燥的316L不銹鋼管道或?qū)Ｓ玫臐崈艏壦芰瞎埽ㄈ鏟VDF）連接儀器。
確保管路密封良好，無泄漏。所有接頭應(yīng)使用合適的密封件（如金屬墊圈）。
建議在儀器前安裝過濾器（如0.01μm級）以去除顆粒物和油霧，保護傳感器。
檢查電源與信號線：
確認電源電壓（如24V DC）符合儀器要求。
檢查接地線是否連接牢固可靠。
如需數(shù)據(jù)傳輸，確認通信線纜（如RS-485、以太網(wǎng)）連接正確。
第二步：通電預(yù)熱
接通電源：
打開電源開關(guān)，為儀器供電。
預(yù)熱：
儀器需要充分預(yù)熱（通常為30分鐘至數(shù)小時，具體時間參考說明書），以使傳感器和電子元件達到熱穩(wěn)定狀態(tài)，確保測量精度。
嚴禁在未預(yù)熱完成前進行關(guān)鍵測量或校準。
第三步：通氣與吹掃
緩慢開啟氣源：
先打開下游閥門，再緩慢打開上游氣源閥門，避免氣流沖擊損壞傳感器。
初始氣體流量應(yīng)控制在儀器推薦范圍內(nèi)（如0.5-2 L/min）。
吹掃管路：
讓干燥的工藝氣體（如高純氮氣）流經(jīng)整個管路系統(tǒng)和儀器內(nèi)部，持續(xù)吹掃至少15-30分鐘，以置換管路中的濕空氣和污染物，確保進入傳感器的氣體真實反映工藝狀態(tài)。
第四步：參數(shù)設(shè)置與查看
進入設(shè)置菜單：
通過儀器面板的按鍵或外部軟件進入?yún)?shù)設(shè)置界面。
關(guān)鍵參數(shù)設(shè)置：
測量單位：確認顯示單位為露點溫度（如℃dew或℉dew）。
報警閾值：根據(jù)工藝要求設(shè)置高/低露點報警值（如-70°C報警）。
輸出信號：配置模擬輸出（4-20mA）對應(yīng)的量程（如-100°C to-40°C露點）。
通信參數(shù)：設(shè)置通信協(xié)議（如Modbus地址、波特率）。
查看實時數(shù)據(jù)：
觀察顯示屏上的實時露點讀數(shù)，待數(shù)值穩(wěn)定后方可用于監(jiān)控。
第五步：監(jiān)控與報警響應(yīng)
持續(xù)監(jiān)控：
定期檢查露點讀數(shù)，確保其在工藝規(guī)定的范圍內(nèi)。
報警處理：
當儀器發(fā)出報警（聲光或繼電器信號）時，立即檢查：
干燥機、過濾器是否正常工作。
管路是否有泄漏（引入濕氣）。
氣源質(zhì)量是否下降。
及時排除故障，恢復系統(tǒng)正常。
第六步：關(guān)機與維護
正常關(guān)機：
如需關(guān)機，先關(guān)閉氣源閥門，讓儀器在斷氣狀態(tài)下斷電。
或繼續(xù)通入干燥氣體一段時間后再斷電，防止?jié)駳膺M入傳感器。
定期維護：
清潔過濾器：定期檢查并更換前置過濾器。
校準：根據(jù)使用頻率和廠家建議（通常每年一次），使用標準濕度發(fā)生器進行校準，確保測量準確性。
檢查管路：定期檢查管路是否有泄漏、堵塞或污染。
