臭氧分析儀主要由低壓紫外燈、入射紫外光反射器、光波過濾器、臭氧吸收池、采樣光電傳感器、樣品光電傳感器、輸出顯示、電路部件構(gòu)成。是根據(jù)Lambert and Beer定律推出的。在這個(gè)臭氧濃度計(jì)算公式中，只要知道樣品電流、采樣電流和臭氧吸收池距離，那么我們可以計(jì)算出臭氧濃度大小。由于臭氧吸收池的距離的限制，大臭氧濃度只能測(cè)到300 O3 g/m。
臭氧分析儀的工作原理時(shí)通過空氣樣品以恒定的流速進(jìn)入儀器的氣路系統(tǒng)時(shí)，樣品空氣交替地或直接進(jìn)入吸收池或經(jīng)過臭氧滌除器再進(jìn)入吸收池，此時(shí)臭氧對(duì)254nm波長(zhǎng)的紫外光有特征吸收。當(dāng)零空氣樣品通過吸收池時(shí)被光度檢測(cè)器測(cè)定的光強(qiáng)度為I0；那么含臭氧的空氣樣品通過吸收池時(shí)，被光度檢測(cè)器測(cè)定的光強(qiáng)度為I。如此每經(jīng)過一個(gè)周期，儀器的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)朗伯-比爾定律求出臭氧的濃度。
臭氧分析儀檢測(cè)步驟：
1.開啟空調(diào)；確認(rèn)風(fēng)管有風(fēng)吹入潔凈空間；
2.給臭氧發(fā)生器通入冷卻水；確定臭氧出氣口已用管道導(dǎo)入空調(diào)送風(fēng)或回風(fēng)管道；然后開啟臭氧發(fā)生器；正常開機(jī)時(shí)間一般為1小時(shí)。
3.臭氧濃度檢測(cè)儀的開機(jī)方法是：長(zhǎng)按⊙健（約5秒鐘）；有顯示后放開；暖機(jī)時(shí)間為120秒；過了暖機(jī)時(shí)間可以檢測(cè)空氣中的臭氧濃度；臭氧濃度以數(shù)字形式顯示在檢測(cè)儀的顯示板上。臭氧濃度超過20ppm時(shí)臭氧分析儀會(huì)報(bào)警并閃光；大量程是100ppm
4.一般建議按時(shí)間段進(jìn)入潔凈區(qū)檢測(cè)臭氧濃度；
臭氧發(fā)生器工作30分鐘后檢測(cè)；
臭氧發(fā)生器工作60分鐘后檢測(cè)；
如有必要?jiǎng)t90分鐘及120分鐘再各檢測(cè)；
一般臭氧發(fā)生器工作30分鐘后能馬上檢測(cè)到臭氧濃度；
工常工作時(shí)間為1小時(shí)；
如果檢測(cè)不到臭氧濃度或偏低則要檢測(cè)臭氧是否有導(dǎo)入管道內(nèi)或者臭氧是否有漏泄；
如果臭氧有漏泄則會(huì)導(dǎo)致臭氧濃度偏低；
如果檢測(cè)空氣中臭氧濃度過高則控制好的時(shí)間即可。
